使用高純氧氣時應注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作。

據了解，高純氧氣能助燃，應放在陰涼處，嚴禁接近煙火和易燃物;不可在氧氣表螺旋口上抹油;鋼瓶壓力很高，搬運時避免傾倒、撞擊，以防止爆炸。

1、使用高純氧氣前要仔細觀看氣瓶肩部球面部分的標志。特別是注意“下次試壓時間“。并在使用過程中按照要求定期對氣瓶作技術檢驗。不得使用超過應檢期限的氣瓶。

2、使用高純氧氣時，首先要做外部檢查，檢查重點是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發現有漏氣、滑扣、表針動作不靈或“爬高“等，應及時維修，切忌隨便處理。禁止帶壓擰緊閥桿，調整墊料。

檢查高純氧氣漏氣時應用肥皂水，不得使用明火。氣瓶與電焊在同一場使用時，瓶底應墊上絕緣物，以防氣瓶帶電。與氣瓶接觸的管道和設備要有接地設備，防止由于產生靜電造成燃燒或爆炸。

冬季使用高純氧氣電瓶時，瓶閥或減壓器可能出現結霜現象，或用熱水或蒸汽解凍，嚴禁用火烘烤或用鐵器敲擊瓶閥，也不能猛擰減壓器的調節螺絲，以防氣體大量沖出造成事故。

高純氧氣用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產生高純水的反應劑;干法氧化;與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質;在冶金工業生產中有廣泛應用，還可用于水質處理。