高純氣體廠家常用的高純氧氣的生產方法主要有空氣液化分離精餾法(簡稱空分法)、水電解法和變壓吸附法等。

空分法生產高純氧氣的工藝流程大體是：吸收空氣→二氧化碳吸收塔→壓縮機→冷卻器→干燥器→冷凍機→液化分離器→油分離器→氣體儲槽→氧氣壓縮機→氣體充裝。

生產的基本原理是將空氣液化后，利用空氣中各組份沸點的不同在液化分離器進行分離精餾，制取高純氧氣。大型制氧機組的研究開發投用，使得制氧能耗不斷降低，并易于同時生產多種空分產品(如氮氣、氬氣及其它惰性氣體等)。為了便于儲存和運輸，經液化分離器分離后的液氧，用泵輸入低溫液體儲槽，再經槽車運至各深冷液化永久氣體充裝站。液氮、液氬也采用此法儲存、運輸。