高純氧氣用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業生產中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。

使用高純氧氣時應注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作。高純氧氣能助燃，應放在陰涼處，嚴禁接近煙火和易燃物；不可在氧氣表螺旋口上抹油；高純氧氣鋼瓶壓力很高，搬運時避免傾倒、撞擊，以防止爆炸。

1）使用前要仔細觀看氣瓶肩部球面部分的標志。特別是注意“下次試壓時間“。并在使用過程中按照要求定期對氣瓶作技術檢驗。不得使用超過應檢期限的氣瓶。

2）使用時，首先要做外部檢查，檢查重點是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發現有漏氣、滑扣、表針動作不靈或“爬高“等，應及時維修，切忌隨便處理。禁止帶壓擰緊閥桿，調整墊料。檢查漏氣時應用肥皂水，不得使用明火。氣瓶與電焊在同一場使用時，瓶底應墊上絕緣物，以防氣瓶帶電。與氣瓶接觸的管道和設備要有接地設備，防止由于產生靜電造成燃燒或爆炸。冬季使用電瓶時，瓶閥或減壓器可能出現結霜現象，或用熱水或蒸汽解凍，嚴禁用火烘烤或用鐵器敲擊瓶閥，也不能猛擰減壓器的調節螺絲，以防氣體大量沖出造成事故。

3）在使用和貯運高純氧氣氣瓶過程中，應避免劇烈震動和撞擊。搬運氣瓶要輕裝輕卸，必須用專門的抬架或小推車，禁止直接使用鋼絲繩等吊運氧氣瓶。使用和貯存時，應用欄桿或支架對氣瓶加以固定，防止傾倒。

4）氧氣瓶應遠離高溫、明火和熔融金屬飛濺物〔相距10米（m）以上〕。夏季使用時不得在烈日下曝曬。

5）開啟瓶閥或減壓器時動作要緩慢，以防噴出高速氣流中的靜電火花放電、固體微粒的碰撞熱和降擦熱、氣體受突然壓縮時放出的熱量（絕熱壓縮）等引起氧氣瓶和減壓器爆炸著火。