空分行業技術知識
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質量流量控制器(質量流量計)工作原理
Release date:2022-10-17 author: 蘇州希特
質量流量控制器由流量傳感器,分流器通道,流量調節閥和放大控制電路等部件組成,質量流量計由流量傳感器,分離器通道和放大控制電路等部件組成。氣體流過質量流量控制器(質量流量計)時,一部分氣體通過流量傳感器。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償),將檢測的流量信號送入電橋,電橋將流量信號轉變成電信號,電信號經放大器放大為0~5V,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的MT系列流量顯示儀上設置有穩壓電源, 3 位半數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。MFC與流量顯示儀連接后的工作原理如圖3 所示:
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